真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱主要特点
1、可自动化功能控制气压，非标手套箱安装，检测，净化，还原
2、触摸屏幕：彩色中英文操作界面，易于进入各功能，实现人机对话
3、循环：闭合环气体循环，无油和真空
4、气压控制：自动控制，工作气压可设定在范围+/-12mbar
5、箱体清洗：自动控制，易于操作，节约气体，对操作溶剂安全
6、脚踏开关：箱内气压可通过脚踏开关调整
7、配置组件
8、密封性能优越，更换方便
9、数据备忘录：自动记录系统数据
10、制系统：采用PLC程序控制系统
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手套箱常见故障及解决办法
1循环无法开启
原因：电压不稳造成变频器保护，导致无法开启循环。
办法：等电压稳定后重启手套箱即可解决。
2再生时用气量远小于从前
原因：手套箱内有机1溶剂含量过高，循环时有机1溶剂进入循环系统，再生时有机1溶剂堵塞再生气管路上的单向阀所致。
办法：①将单向阀换为直通阀，从此再生压力设置为0.03~0.04Mpa；②观察再生气流量计显示是否在20ml/min左右，否则调整减压阀压力。
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